首頁(yè)

氬氣知識(shí):氬氣的特殊用途

發(fā)布時(shí)間：2021-08-28

氬氣是目前工業(yè)上應(yīng)用很廣泛的稀有氣體。它的性質(zhì)十分不活潑，既不能燃燒，也不能助燃。在飛機(jī)制造、造船、原子能工業(yè)和機(jī)械工業(yè)部門(mén)，對(duì)特殊金屬，例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時(shí)，往往用氬作為焊接保護(hù)氣，防止焊接件被空氣氧化或氮化。

　　高純氬氣主要用途：用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣，為了提高硅晶體的質(zhì)量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個(gè)議題。通過(guò)對(duì)本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時(shí)，水分也小于1ppm時(shí)，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到其要求，贏得客戶的滿意和市場(chǎng)的需求。由于一般液氬汽化后未經(jīng)過(guò)純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過(guò)了此范圍，但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量，所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何，只要經(jīng)過(guò)純化裝置的處理后，進(jìn)入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm，這樣穩(wěn)定的氬氣對(duì)生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。

上一頁(yè)

氫氣已被多國(guó)列為食品添加劑

如何辨別醫(yī)用氧和工業(yè)氧

下一頁(yè)

上一頁(yè)

氫氣已被多國(guó)列為食品添加劑

下一頁(yè)

如何辨別醫(yī)用氧和工業(yè)氧

2023-07-06

各大區(qū)液氧市場(chǎng)走勢(shì)分析

2021-08-28

六氟化硫SF6電漿對(duì)軟性基材表面特性的影響